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是在高速扭转的基片上，滴注各种胶液，操纵向心力使滴在基片上的胶液平均地涂覆在基片上的装备，膜的厚度取决于该机的转速和溶胶的黏度。接纳触摸屏设置可用于直径28-200mm晶片涂覆，仪器配有“宁静开关按钮”转速规模300-8500RPM，可选无油或有油92白菜网大全
等配件。
最近几年来的成长趋向是在主动任务体例的400全讯白菜网
中加入预涂增粘剂(HMDS)的冷板和热板工艺模块，以加强光刻胶和晶片的附出力。为了进步出产率，外洋已研制出多种工艺模块肆意组合的积木式布局，有的还带有胶膜主动丈量和监控装配。
操纵：
该装备首要用于晶片涂光刻胶，有主动、手动和半主动三种任务体例。
从其道理来讲它有以下两个特色：
(1)扭转速率
转速的快慢和节制精度间接干系到旋涂层的厚度节制和膜层平均性。若是标示的转速和机电的现实转速偏差很大，对请求紧密涂覆的科研职员来讲是没法取得精确的尝试数据的。今朝转速节制方面有国际认定规范，如美国NIST规范等。
(2)真空吸附体系
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普通接纳无油泵，即凡是说的干泵，由于任何的油污都能够梗塞真空管道，若是真空吸附力下降，会致使基片吸附不住而发生"飞片"的环境，还会让滴的胶液不慎进入真空管道体系形成*梗塞。有的400全讯白菜网
经由过程联念头制，认真空吸附力不够时不会起头扭转。如许可有效防止滴的胶液不慎进入真空管道体系。
总的来讲，他们道理都是一样的，即在高速扭转的基片上，滴注各种胶液，操纵向心力使滴在基片上的胶液平均地涂覆在基片上，厚度视差别胶液和基片间的粘滞系数而差别，也和扭转速率实时候有关。
