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是一种简略，经济，疾速高效的资料外表洗濯装备，能疾速去除大大都无机基材上的无机净化物。它经常利用于扫描探测显微镜的样品利用，该装备能用于洗濯原子力显微镜探针，扫描探针显微镜规范和外表上惯例的油渍层和残留的无机资料，也能用来转变物体外表的疏水性，有助于部件和外表的化学改性，颠末氧化和软化处置的探针有益于在扫描进程中坚持探针的多少外形，削尖的探针有益于进步侧向分辩率。
臭氧洗濯机装备已用于纳米手艺，化学，生物学，光学，电子学，半导体和其余环球规模内的迷信测验考试室。
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的宁静注重事变：
装备利用职员应熟习操纵的一切方面，并应利用恰当的宁静提防办法。
1.裸露于高强度紫外线（UV）光的危险：装备会收回激烈的紫外光。不要把能够遭到紫外线破坏的资料裸露光源下！
2.化学品裸露危险：装备产生臭氧，一种激烈的安慰性气体，能够会产生中毒。固然臭氧的半衰期绝对较短，但依然应谨严利用。有条件能够放在透风柜中利用。紫外灯管是汞灯，出格注重避免汞泄露。
3.触电危险：装备的输入电压几千伏，是致命的。另外，电源包罗电容，能够持有残剩电荷，仪器即便在断开电源下仍能临时发光。当紫外灯灯破坏或破坏时切勿利用仪器！请勿利用液体！请勿拆解，点窜或测验考试修复此装备！
4.火警或爆炸的危险：切勿利用易燃液体，气体或资料！
